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三氟化氮
三氟化氮
三氟化氮

       三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、化学性质稳定的气体,不可燃,但能助燃,是一种强氧化剂。当温度超过350℃时,三氟化氮气体会缓慢分解,分解时产生强氧化性氟,因此在高温下它是一种强氧化剂。三氟化氮可以用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,是工业气体公司生产的一种优良的等离子蚀刻气体。

       三氟化氮的应用
       三氟化氮可以用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。

      

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